空气过滤器的效率分类
过滤器按三个pm颗粒物粒径组别进行分级时，圆桶过滤器作用，要求至少对该组别的颗粒物达到50%过滤效率。如果过滤器在任何三种颗粒物组别中均未达到50%的效率，则过滤器将被分为coarse组，制作圆桶过滤器，粗过滤器级别。通过带静电荷原始状态和不带静电荷的消静电状态过滤器分别进行效率测试，池州圆桶过滤器，取平均值得到iso16890的epm过滤效率。过滤效率以百分比形式体现，该百分比与过滤器本身可以分级的颗粒物组别相关联。下面是过滤器可以分级的不同过滤等级（30个不同的等级和coarse）。
hepa过滤器作用
扩散一个改进机制是碰撞的结果与气体分子由小的颗粒，---是那些在直径的0.1 μm以下，从而在他们的道路被妨碍并且被---穿过过滤器; 这行为是相似的蘇格兰的植物学家robert brown的行动并且培养可能性微粒将路过二个机制之一上面; 它变得统治在---的气流速度。扩散在0.1 μm直径微粒大小之下---势。 装紧和拦截在0.4 μm之上---势。 在之间，在0.3 μm mpps附近，圆桶过滤器价格，扩散和拦截---势。一开始的过滤器气流抵抗和终滤器气流抵抗典型地被测量压力下落横跨过滤器。
半导体设备如何选择过滤器
1.公称精度和绝i对精度
在判定过滤器性能的时候，我们经常会提到一个概念：公称精度和绝i对精度。
公称精度的概念较早。早期对污染物的衡量方法是称重，这是一个重量分析实验。
公称精度作为过滤精度标准存在一定的局限性。
有争议的微米级过滤精度
由制造商自己制定的标准
去除重量百分比
可变的、不可再现的下游流体
非固定孔结构
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