半导体设备如何选择过滤器
1.公称精度和绝i对精度
在判定过滤器性能的时候，我们经常会提到一个概念：公称精度和绝i对精度。
公称精度的概念较早。早期对污染物的衡量方法是称重，这是一个重量分析实验。
公称精度作为过滤精度标准存在一定的局限性。
有争议的微米级过滤精度
由制造商自己制定的标准
去除重量百分比
可变的、不可再现的下游流体
非固定孔结构
按工作原理分
袋式过滤器
1. 结构紧凑、尺寸合理。安装及操作简单、方便，占地面积较小。2. 过滤精度高，适用于任何细微颗粒或悬浮物，过滤范围可从 1 ～ 800 微米。3. 单位过滤面积的处理流量较大，过滤阻力较小，过滤效率i高。一个滤袋过滤功能相当于同类型滤芯 5 ～ 10 倍，复合折叠滤芯，可---降低成本；设计流量可以满足 1 ～ 500m3 /h 要求，成本造价低。4. 用途广泛，可用于粗滤、中滤或精滤；在达到同样过滤效果的情况下，比较起板框精滤机、滤芯式过滤器等设备具有投资成本较低、使用---和过滤成本低等优点。
按工作原理分
◆板框压滤机结构简单，制作方便，活性炭滤芯，占地面积小，苏州折叠滤芯，操作压强高，过滤面积大，适于粘细物料，滤渣含湿量低，缺点是间歇操作，生产效率低，劳动强度高，滤布损失快。厢式压滤机各种过滤设备与板框压滤机相似，但机件少，单位过滤面积的造价低 15% 左右，密封面---，通辽滤芯，但滤布安装于清洗麻烦，滤布损失快，操作成本高，大多数用于大处理量的生产中。
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