hepa过滤器历史
原始的hepa过滤器在40年代被设计了和用于曼哈顿项目防止传播空中放i射性污染物。 它在50年代商业化，并且成为了注册商标，一般术语为非常有效率的过滤器。 在十年过滤器演变满足对空气的更高和高需求以各种各样的高技术产业，例如航空航天，配药处理，医院、医i疗保健、核燃i料，核能和电子microcircuitry(计算机芯片)。
hepa根据过滤性能不同，分为h10-h14五种级别。可将空气中的污染物，如灰尘、花粉、---、---、重金属、放i射性元素等进行不同效率的过滤净化，以提高室内空气洁净度。
其中，软边过滤器原理，h13型号可将空气中***0.3um的颗粒物达到99.97%以上的过滤。
市面上所有过滤都是hepa等级吗？
在选购过滤产品时，大家要仔细甄别。市面上一般宣传的过滤器并非都能达到hepa等级。很多过滤器仅能针对于肉眼可见的灰尘达到70%左右的净化效果，软边过滤器，属初效过滤。一定要鉴别过滤器生产商是否具备相应的---，软边过滤器厂家，检验产品是否合格。
半导体设备如何选择过滤器
1.公称精度和绝i对精度
在判定过滤器性能的时候，我们经常会提到一个概念：公称精度和绝i对精度。
公称精度的概念较早。早期对污染物的衡量方法是称重，这是一个重量分析实验。
公称精度作为过滤精度标准存在一定的局限性。
有争议的微米级过滤精度
由制造商自己制定的标准
去除重量百分比
可变的、不可再现的下游流体
非固定孔结构
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