hepa常见等级划分
hepa过滤器，所定义的美国能源部美国大部分的行业采用的标准，除去至少99.97%空气中的颗粒0.3微米（μ米）直径。滤波器的小气流阻力，或压力降，制作圆桶过滤器，通常规定在300帕斯卡（0.044 psi）的名义流量。通常用在规范欧洲联盟是的欧洲标准n1822: 2009。它定义了几类高i效过滤器采用保留在给定的易穿透粒径（mpp）：hepa滤网等按照现行的欧洲等级细分为g1-g4、f5-f9、h10-h14以及u15-u17。在空气净化器中常见就是h等级，这种规格的hepa均属于高i效或亚高i效过滤网。而h级中h13-14滤网被---好的。其中h13等级的hepa滤网可以实现总效率99.95%；h14等级的hepa滤网总效率则能达到99.995%
hepa是由什么材质组成的？
其中组成hepa的材料有很多种，可以分为pp（聚丙i烯）高i效滤纸、pet滤纸、pp和pet复合高i效滤纸以及玻纤高i效滤纸。其中pp（聚丙i烯）是纸类，圆桶过滤器，因此一般不能水洗。另一部分hepa滤网采用pet或ptfe材质，这也就是网上很多声称水洗hepa滤网的由来，圆桶过滤器牌子，不过在这里小编必须提示pet的效率很低。
半导体设备如何选择过滤器
1.公称精度和绝i对精度
在判定过滤器性能的时候，我们经常会提到一个概念：公称精度和绝i对精度。
公称精度的概念较早。早期对污染物的衡量方法是称重，这是一个重量分析实验。
公称精度作为过滤精度标准存在一定的局限性。
有争议的微米级过滤精度
由制造商自己制定的标准
去除重量百分比
可变的、不可再现的下游流体
非固定孔结构
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