半导体设备如何选择过滤器
1.公称精度和绝i对精度
在判定过滤器性能的时候，我们经常会提到一个概念：公称精度和绝i对精度。
公称精度的概念较早。早期对污染物的衡量方法是称重，这是一个重量分析实验。
公称精度作为过滤精度标准存在一定的局限性。
有争议的微米级过滤精度
由制造商自己制定的标准
去除重量百分比
可变的、不可再现的下游流体
非固定孔结构
过滤器的选型
过滤器选型的原则要求 过滤器是除去液体中少量固体颗粒的小型设备，可保护设备的正常工作，当流体进入置有一定规格滤网的滤筒后，其杂质被阻挡，而清洁的滤液则由过滤器出口排出，当需要清洗时，只要将可拆卸的滤筒取出，处理后重新装入即可。
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滤芯维护保养：
1.液压油滤芯是过滤器的核i心部位，滤芯是由特殊材料组合而成，属于易损件，滤芯，需要---的保护和保养。2.当系统中过滤器工作一段时间后，过滤器中的液压油滤芯已经拦截了一定量的污染杂质，这时压力增加，流量会渐渐减小，发讯器会提醒报警，这时需要及时清理滤芯内的杂质，活性炭滤芯，需要清洗滤芯。3.在清洗滤芯的过程中，滤芯清洗，我们一定要注意液压油滤芯不得变形或损坏。否则，不可再次使用，以免影响过滤效率，从而给整个系统带来损坏。
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