半导体设备如何选择过滤器
1.公称精度和绝i对精度
在判定过滤器性能的时候，滤芯安装，我们经常会提到一个概念：公称精度和绝i对精度。
公称精度的概念较早。早期对污染物的衡量方法是称重，宁德滤芯，这是一个重量分析实验。
公称精度作为过滤精度标准存在一定的局限性。
有争议的微米级过滤精度
由制造商自己制定的标准
去除重量百分比
可变的、不可再现的下游流体
非固定孔结构
hepa过滤器作用
扩散一个改进机制是碰撞的结果与气体分子由小的颗粒，---是那些在直径的0.1 μm以下，ptfe折叠滤芯，从而在他们的道路被妨碍并且被---穿过过滤器; 这行为是相似的蘇格兰的植物学家robert brown的行动并且培养可能性微粒将路过二个机制之一上面; 它变得统治在---的气流速度。扩散在0.1 μm直径微粒大小之下---势。 装紧和拦截在0.4 μm之上---势。 在之间，在0.3 μm mpps附近，扩散和拦截---势。一开始的过滤器气流抵抗和终滤器气流抵抗典型地被测量压力下落横跨过滤器。
滤芯技术性能
过滤精度：0.1um0.2um0.45um1um3um5um10um20um30um50um· 滤芯长度：5” 10” 20” 30” 40”· 滤芯直径: 69mm83mm131mm· 滤芯内径：28mm~40mm· ---的ph值：1-12· 高工作温度：≤80℃ 0.1mpa时· 高工作压力：0.3mpa50℃时· 大反压差：0.2mpa25℃时· 高消毒温度：120℃每次半小时
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