hepa选用要点
（4）关于边框的材质及厚度要求：冷轧钢板厚度应为1.0 mm~2.0 mm，成型焊接后应镀锌、喷塑或采取其他 （5）防锈措施；铝合金板厚度宜为1.5 mm~2.0 mm；不锈钢板厚度应为1.0 mm~2.0 mm。（6）高i效密封部件的要求：关于高i效过滤器的生产环境要求，高i效空气过滤器组装车间室内的空气洁净度等级宜达到8级，滤芯，i效空气过滤器组装车间室内的空气洁净度等级宜达到7级。（7）关于密封胶的要求，po折叠滤芯，应齐整无裂纹，沿滤料和分隔板浸润高度应不大于5mm。
hepa过滤器历史
原始的hepa过滤器在40年代被设计了和用于曼哈顿项目防止传播空中放i射性污染物。 它在50年代商业化，并且成为了注册商标，一般术语为非常有效率的过滤器。 在十年过滤器演变满足对空气的更高和高需求以各种各样的高技术产业，例如航空航天，配药处理，医院、医i疗保健、核燃i料，滤芯厂家，核能和电子microcircuitry(计算机芯片)。
半导体设备如何选择过滤器
1.公称精度和绝i对精度
在判定过滤器性能的时候，我们经常会提到一个概念：公称精度和绝i对精度。
公称精度的概念较早。早期对污染物的衡量方法是称重，这是一个重量分析实验。
公称精度作为过滤精度标准存在一定的局限性。
有争议的微米级过滤精度
由制造商自己制定的标准
去除重量百分比
可变的、不可再现的下游流体
非固定孔结构
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