过滤器分类
(3)纸质滤油器纸质滤油器，其滤芯为平纹或波纹的酚醛树脂或木浆微孔滤纸制成的纸芯，将纸芯围绕在带孔的镀锡铁做成的骨架上，以增大强度。为增加过滤面积，纸芯一般做成折叠形。其过滤精度较高，一般用于油液的精过滤，但堵塞后无法清洗，须经常更换滤芯。(4)烧结式滤油器烧结式滤油器，hepa过滤器，其滤芯用金属粉末烧结而成，利用颗粒间的微孔来挡住油液中的杂质通过。其滤芯能承受高压，抗腐蚀性好，过滤精度高，适用于要---滤的高压、高温液压系统。液压系统正常工作的---手段。
滤芯更换方法：
此过程中通常会有水溢出，请预备好水盆或毛巾等清洁用具：a) 关掉电镀球阀及压力桶球阀;b) 打开鹅颈龙i头，以排清管道中残留水;c) 待水不再流出后，用滤壳扳手将装有滤芯的滤壳打开;d) 取出旧的ge滤芯，装入同规格新的滤芯;e) 将滤壳上方的黑色“ o ”型圈，涂上如凡士林等润滑剂，培养箱hepa过滤器，再将“ o ”型圈放入滤壳中的凹槽内。f) 以垂直方式，hepa过滤器优点，旋紧滤壳，尽量避免让“ o ”型圈移位。g) 打开电镀球阀及压力桶球阀。
半导体设备如何选择过滤器
1.公称精度和绝i对精度
在判定过滤器性能的时候，我们经常会提到一个概念：公称精度和绝i对精度。
公称精度的概念较早。早期对污染物的衡量方法是称重，这是一个重量分析实验。
公称精度作为过滤精度标准存在一定的局限性。
有争议的微米级过滤精度
由制造商自己制定的标准
去除重量百分比
可变的、不可再现的下游流体
非固定孔结构
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